サーキュレーション
製品とは
半導体製造装置に欠かせない
継手とポンプ
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半導体製造装置に欠かせない
継手とポンプ
半導体の製造工程ではさまざまな薬品が使われるため、この部品には耐薬品性が求められます。そのためPILLARは、ふっ素樹脂の持つ耐薬品性を最大限に活かした「ふっ素樹脂継手」と「ベローズポンプ」を開発・生産。安全性を確保することで、お客さまに安心を提供しています。
「ふっ素樹脂継手」は本体とスリーブ、ナット、ゲージリングという部品で構成されています。PILLAR独自のシール技術を採用し、スリーブの先端が本体の溝に刺さりこむことで漏れをストップ。また、ナットの締め具合はゲージリングとナットの突起が接触した際の音と感触だけで確認できるなど、独自の特長も備えています。
「ベローズポンプ」は、液体が接する部分すべてがふっ素樹脂でできているため、耐薬品性、クリーン性に優れています。
半導体製造装置において特にクリーンルームの中で使用されます。半導体の工場ではミクロのごみが製造ラインに入るだけでも製品不良となるため、さまざまな薬品で洗浄を実施。「ベローズポンプ」はその半導体を洗浄する処理層へ薬液を移送するために使用されます。また、配管自体にも耐薬品性が求められるため、「ふっ素樹脂継手」がさまざまなところに採用されています。
スマートフォンやパソコン、液晶テレビなど、現代の暮らしに欠かせない半導体や液晶ディスプレイ。その生産工程で使われているのがPILLARのサーキュレーション製品です。活躍のフィールドは国内にとどまらず、中国・台湾から欧米まで世界各地に拡大。また昨今では、人工透析の分野でもPILLARの「ふっ素樹脂継手」が採用され医療の現場も支えています。
